Khí CF4

Tetrafluoromethane, còn được gọi là carbon tetrafluoride, là fluorocarbon đơn giản nhất (CF4), có độ bền liên kết rất cao do bản chất của liên kết cacbon-flo.

CF4 cũng có thể được phân loại như một haloalkan hoặc halomethane. Do có nhiều liên kết cacbon – flo và độ âm điện cao nhất của flo, cacbon trong tetrafluoromethane có điện tích dương đáng kể giúp tăng cường và rút ngắn bốn liên kết cacbon – flo bằng cách cung cấp thêm tính chất ion. Tetrafluoromethane là một khí nhà kính mạnh.

Tetrafluoromethane đôi khi được sử dụng làm chất làm lạnh ở nhiệt độ thấp. CF4 được sử dụng trong chế tạo vi điện tử đơn chát hoặc kết hợp với oxy làm chất ăn mòn plasma cho silicon, silicon dioxide và silicon nitride.